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          日本大阪真空OSAKA渦輪分子泵串行通信TG50F北崎熱賣

          更新時(shí)間:2025-11-26      瀏覽次數(shù):127

          TG50F


          • 任何方向

          • 緊湊尺寸

          • 節(jié)能

          • 快速啟動(dòng)

          • 用燃?xì)馀艢饪焖訇P(guān)閉

          • 用于沖擊氣流的堅(jiān)固結(jié)構(gòu)

          • 串行通信

          ※RS232C 串行接口

          TG50F

          應(yīng)用

          • 半導(dǎo)體生產(chǎn)

          • 電子槍排氣,電離源排氣

          • FPD制造

          • 表面處理,表面改性

          • 各種電子元件的制造

          • 分析與測(cè)試設(shè)備

          • 燈具生產(chǎn),光學(xué)元件生產(chǎn)

          • 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究

          • 熱處理

          • 研究與開發(fā)

          *如果排放腐蝕性氣體,請(qǐng)選擇我們的化學(xué)用途TG-M系列或TG系列。

          TG50F
          進(jìn)氣法蘭VG65/ISO-R63/CF63
          流量N2(L/s)51
          N2(帶防護(hù)
          屏障)(L/s)
          49
          H2(L/s)12
          壓縮比N21.4×107
          H25×102
          基壓VG?ISO-R/CF(賓夕法尼亞州)<3×10-6
          VG?ISO-R/CF(托爾)<2.3×10-8
          吞吐量※1N2(SCCM)80
          啟動(dòng)時(shí)間(分鐘)1-1.5
          停工時(shí)間(分鐘)1-1.5
          背壓(帕/托爾)1330/10
          推薦的倒吸真空泵(L/min)≧50
          位置任何方向
          重量VG?ISO-R/CF(kg)4.2/6
          控制器TC64

          *1:使用100升/分鐘的備份真空泵時(shí)。

          [環(huán)境溫度使用]

          確保達(dá)到最終壓力的環(huán)境溫度范圍為10-23°C。允許的環(huán)境溫度為空氣冷卻類型為10-32°C,水冷類型為10-40°C。確保最終壓力的冷卻水溫度為30°C,冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。

          [對(duì)應(yīng)氣體]

          一些服務(wù)氣體會(huì)腐蝕潤(rùn)滑脂和內(nèi)部部件。請(qǐng)聯(lián)系大阪真空,獲取適用的燃?xì)忸愋土斜怼?/p>



          電話:TEL

          86-010-67868591

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