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          技術文章/ TECHNICAL ARTICLES
          
            
          
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          RIGAKUT日本理學XHEMIS TX-3000V 內置 VPD 的 TXRF 光譜儀
          
            
          更新時間：2025-04-23      瀏覽次數：591
          
            
          
            	
          XHEMIS TX-3000V
          內置 VPD 的 TXRF 光譜儀
          超快速金屬污染分布驗證
          VPD 的最高靈敏度
          兼容最大 300 毫米的晶圓

          XHEMIS TX-3000

          XHEMIS TX-3000V 規格
          技術全內反射 X 射線熒光光譜法 （TXRF） 與氣相分解 （VPD）
          用微量元素表面污染測量 niyoru 1E7
          原子/cm2 檢測限 標測速度提高約
          3 倍
          科技集成自動 VPD 制備、三光束激發和自動光學元件更換
          主要組件三探測器配置：
          高功率 W 與陰極 X 射線源（9 kW 旋轉與陰極） 3
          種激發能量，針對輕元素、過渡元素和重元素
          進行了優化 XYθ 樣品臺
          雙 FOUP 負載端口
          特征全晶圓映射 （SWEEPING-TXRF） 零
          邊緣排除 （ZEE-TXRF） 集成
          自動 VPD 預處理 （VPD-TXRF）
          用于硅晶圓的雙 FOUP 加載端口，可實現最高靈敏度
          選擇背面分析 （BAC-TXRF）
          GEM300 軟件，E84/OHT 支持
          氣相處理 （VPT-TXRF），以提高靈敏度，同時保留空間信息 VPD
          用于親水性晶圓表面（例如 SiC）
          本體尺寸1280 （W） x 3750 （D） x 2040 （H）
          （不包括顯示器和信號塔）
          測量結果定量結果、光譜圖、彩色等值線圖、映射表


          
            
          
            
		
          
            
    
          
    
          

          




          
    
          
        
        
          
        	
            
            
          
            	
          電話：TEL
          
                86-010-67868591
                
          地址：ADDRESS
          
                朝陽區住邦2000商務樓A座1號樓406B
            
          
            
          
                
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